（來源：上觀新聞）

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這就像GP??S導(dǎo)航有時會????????因為路況變化或??信號干擾???而推薦一條次????優(yōu)路線，但好的導(dǎo)??????航系統(tǒng)應(yīng)??????該能夠在這種????情況下仍然??帶你到達??目的地??。當(dāng)一臺光刻機?????♀?的內(nèi)部包含數(shù)萬個????傳感器??、需要實現(xiàn)??納米級運?動控制時???，設(shè)備的靈魂已不????再是機械結(jié)構(gòu)，而??是運行于??其上的實時???控制軟件????與數(shù)據(jù)????處理系統(tǒng)??。